Ultrasensitive guided-mode resonance biosensors superimposed with vertical-sidewall roughness.

本文研究了垂直侧壁粗糙度（VSR）对用于红外照明下超灵敏生物传感器的亚波长光栅导模共振（GMR）滤波器的影响。为突出灵敏度和VSR效应，将光栅滤波器光谱半高宽设计得尽可能窄。考虑并评估了光栅上三种VSR形貌，以相关长度ξ和最大粗糙度偏差均方根σ表征。采用严格耦合波分析（RCWA）定量计算光栅滤波器反射共振峰波长值（PWV）的偏移。模...