Ion concentration polarization (ICP) of proteins at silicon micropillar nanogaps.

PloS one 2019 Lu B, Maharbiz MM

低丰度蛋白的快速检测仍是挑战，因为检测速度受限于分析物向生物传感器检测位点的输运。本文展示了一种可规模化制备硅微柱间垂直纳米间隙的工艺，该结构可产生离子浓度极化（ICP）富集，用于快速分析物检测。与水平纳米通道相比，大规模并联的垂直纳米间隙不仅可提供相当的电动力学性能，还显著降低流体阻力，从而兼容微珠免疫检测。器件通道可利用常规光刻...

微流控生物传感器 离子浓度极化微流控免疫检测垂直纳米间隙蛋白富集

A dielectric-modulated field-effect transistor for biosensing.

Nature nanotechnology 2007 Im H, Huang XJ, Gu B, Choi YK

本文报道一种基于场效应晶体管（FET）的介电调制生物传感器（DMFET），用于无标记检测生物分子特异性结合。器件采用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容工艺，在p型绝缘体上硅（SOI）晶圆上构建硅沟道、磷掺杂源漏电极、10 nm二氧化硅栅氧化层以及铬/金栅电极，并通过湿法刻蚀铬层形成15 nm垂直纳米间隙。纳米间隙内壁经11-氨基-...

场效应晶体管(FET)生物传感器 场效应晶体管生物传感器介电调制垂直纳米间隙生物素-链霉亲和素