High S/N ratio slotted step piezoresistive microcantilever designs for biosensors.

本研究提出一种开槽阶梯式微悬臂梁设计，用于提高基于表面应力的物理、化学、生化及生物传感器信噪比。悬臂梁由二氧化硅构成，内部集成p型掺杂硅U形压阻；通过改变悬臂梁阶梯长度、压阻长度及工作偏置电压，利用ANSYS Multiphysics有限元多物理场模拟，表征其作为免疫传感器时的表面应力敏感度和热漂移敏感度。模拟以抗原-抗体结合产生的...