A Flexible PI/Si/SiO
本文开发了一种基于聚酰亚胺（PI）/硅/二氧化硅的压阻微悬臂梁生物传感器，用于黄曲霉毒素B1（AFB1）的痕量检测。为同时利用单晶硅的高压阻系数和PI的小弹簧常数，柔性压阻微悬臂梁采用绝缘体上硅（SOI）晶圆中的埋氧（BOX）层作为底部钝化层，顶层单晶硅作为压阻层，薄PI膜作为顶部钝化层。为提高灵敏度和输出电压稳定性，四个相同压阻器...
Detection of the antiepileptic drug phenytoin using a single free-standing piezoresistive microcantilever for therapeutic drug monitoring.
苯妥英是应用广泛的抗癫痫药物，因治疗窗窄而需进行治疗药物监测（TDM）。本研究报道了一种基于单自由悬臂压阻微悬臂梁生物传感器的苯妥英电学检测方法。该传感器无需标记，可通过微机电系统（MEMS）工艺微型化，并集成到微流控通道中，适用于即时诊疗、个人诊断和个性化TDM。器件在去离子水和100%胎牛血清中均实现苯妥英检测，在10–80 μ...
Electrical detection of C-reactive protein using a single free-standing, thermally controlled piezoresistive microcantilever for highly reproducible and accurate measurements.
本研究提出一种基于单个自由悬臂、热控压阻微悬臂梁生物传感器的 C 反应蛋白（CRP）电学检测方法，可用于体内感染识别或心血管疾病风险评估。传统双悬臂梁惠斯通电桥结构中，参考悬臂梁与镀金传感悬臂梁因表面材料和多层结构不同，会对液体环境中化学物质、流场和温度变化产生独立响应，造成生物传感目标信号干扰。本研究采用单个自由悬臂梁生物传感器，...
High S/N ratio slotted step piezoresistive microcantilever designs for biosensors.
本研究提出一种开槽阶梯式微悬臂梁设计，用于提高基于表面应力的物理、化学、生化及生物传感器信噪比。悬臂梁由二氧化硅构成，内部集成p型掺杂硅U形压阻；通过改变悬臂梁阶梯长度、压阻长度及工作偏置电压，利用ANSYS Multiphysics有限元多物理场模拟，表征其作为免疫传感器时的表面应力敏感度和热漂移敏感度。模拟以抗原-抗体结合产生的...
Models and signal processing for an implanted ethanol bio-sensor.
为克服酒精研究中难以在社区环境中无创、连续测量数周至数月乙醇摄入的问题，作者提出一种基于微机电系统（MEMS）的皮下植入式乙醇生物传感器及其统计信号处理方法。该传感器植入皮下后测量外周组织乙醇浓度，而非直接测量血液或肝脏浓度。由于口服乙醇需经胃肠道吸收、分布和消除，外周组织浓度与真实摄入之间存在强烈低通滤波和非线性药代动力学关系。为...