A monolithically integrated microcantilever biosensor based on partially depleted SOI CMOS technology.

Microsystems & nanoengineering 2023 Liu Y, Tian Y, Lin C, Miao J 等 5 人

本文报道了一种基于部分耗尽SOI CMOS工艺的单片集成微悬臂梁适配体传感器，由压阻微悬臂梁阵列和片上信号处理电路组成。12根嵌入压阻器的微悬臂梁构成3个惠斯通电桥传感器；片上电路包括多路复用器、斩波仪表放大器、低通滤波器、Σ-Δ模数转换器和串行外设接口。微悬臂梁阵列与电路均在SOI晶圆单晶硅器件层上制造，并经三次微加工释放。该设计...

其他 单片集成微悬臂梁压阻生物传感器SOI CMOS

A Flexible PI/Si/SiO

Sensors (Basel, Switzerland) 2021 Tian Y, Liu Y, Wang Y, Xu J 等 5 人

本文开发了一种基于聚酰亚胺（PI）/硅/二氧化硅的压阻微悬臂梁生物传感器，用于黄曲霉毒素B1（AFB1）的痕量检测。为同时利用单晶硅的高压阻系数和PI的小弹簧常数，柔性压阻微悬臂梁采用绝缘体上硅（SOI）晶圆中的埋氧（BOX）层作为底部钝化层，顶层单晶硅作为压阻层，薄PI膜作为顶部钝化层。为提高灵敏度和输出电压稳定性，四个相同压阻器...

其他 压阻微悬臂梁黄曲霉毒素B1生物素-亲和素系统SOI