Superparamagnetic iron oxide nanoparticle attachment on array of micro test tubes and microbeakers formed on p-type silicon substrate for biosensor applications.

本研究在p型硅衬底上，通过N,N-二甲基甲酰胺（DMF）与氢氟酸（HF）阳极刻蚀，制备了横截面和间距可调、均匀分布的微试管与微烧杯阵列，本质上形成大孔硅模板。通过调节形成参数，尤其是晶圆电阻率，可较合理地控制结构尺寸：微试管的孔径及相邻孔间距通常约为1 μm；微烧杯的孔径大于1.5 μm，孔间距可小于100 nm。作者采用化学共沉淀...