Finite Element Analysis for Surface Acoustic Wave Device Characteristic Properties and Sensitivity.

Sensors (Basel, Switzerland) 2019 Wang T, Green R, Guldiken R, Wang J 等 6 人

表面声波（SAW）器件的设计与优化是新型及现有SAW传感器和换能器开发中最关键的步骤。由于成本低、便携且适用于电子、通信和生物传感，SAW器件需求持续增长，但尚未建立完整的三维有限元模型来表征SAW生物传感器。本研究提出一种分析剪切水平Love波谐振器器件的新方法，并用制备器件验证。研究对三维模型和实验器件进行了全面分析，包括散射参...

其他 表面声波有限元分析Love波质量加载

Robust Design of SAW Gas Sensors by Taguchi Dynamic Method.

Sensors (Basel, Switzerland) 2009 Tsai HH, Wu DH, Chiang TL, Chen HH

本文采用田口信噪比分析优化表面声波（SAW）气体传感器系统的动态特性，其输出响应与输入信号呈线性关系。研究目标是在提高测量系统灵敏度的同时降低其变异性。作者利用有限元分析（FEM）方法考察沉积质量对 SAW 生物传感器谐振频率输出的影响，将沉积质量作为信号因子，谐振频率偏移作为输出响应，并引入石英切割角等噪声因子。通过 L18 正交...

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