Two-Level 3D Column-like Nanofilms with Hexagonally-Packed Tantalum Fabricated via Anodizing of Al/Nb and Al/Ta Layers-A Potential Nano-Optical Biosensor.

Materials (Basel, Switzerland) 2023 Pligovka A, Lazavenka A, Turavets U, Hoha A 等 5 人

本文报道了一种通过阳极氧化Al/Nb和Al/Ta金属层制备的两级三维柱状纳米膜。首先在草酸水溶液中阳极氧化Al/Nb，形成第一级多孔阳极氧化铝（PAA）及氧化铌柱；再在酒石酸水溶液中阳极氧化Al/Ta形成第二级PAA，并在硼酸缓冲液中再阳极氧化生成氧化钽柱；随后用50%磷酸长时间刻蚀去除PAA。沉积在部分溶解的第一级PAA上、且露出...

其他 阳极氧化氧化钽氧化铌纳米光学生物传感器

Alkali-resistant low-temperature atomic-layer-deposited oxides for optical fiber sensor overlays.

Nanotechnology 2018 Kosiel K, Dominik M, Ściślewska I, Kalisz M 等 9 人

本文研究低温（100 °C）原子层沉积（ALD）制备的氧化铪（HfOx，y/x≈2.70）、氧化钽（TaOx，y/x≈2.75）和氧化锆（ZrOx，y/x≈2.07）作为抗碱光纤传感器覆盖层的性能。分别采用四乙基甲基氨基铪、五氯化钽和四乙基甲基氨基锆与去离子水，在平面 Si(100) 和玻璃衬底上沉积。ALD 每循环生长量（GPC）...

其他 光纤长周期光栅原子层沉积氧化钽抗碱覆盖层