Application of Molecular Vapour Deposited Al

石墨烯基即时检测（PoC）和化学传感器可通过光刻工艺在晶圆级制备，但该方法会在石墨烯表面留下难以完全去除的聚合物残留；石墨烯生长与转移过程也会引入缺陷。缺陷和光刻胶污染会降低石墨烯基 PoC 传感器的均一性，导致器件性能不一致和传感结果不可靠。此外，石墨烯 PoC 传感器化学功能化过程中使用的苛刻化学环境可能降解器件中较脆弱的部分，...