Streptavidin Modified ZnO Film Bulk Acoustic Resonator for Detection of Tumor Marker Mucin 1.

本文采用磁控溅射技术制备了基于氧化锌（ZnO）的薄膜体声波谐振器（FBAR），并将其作为生物传感器用于检测黏蛋白1（MUC1）。该FBAR的谐振频率位于约1503.3 MHz，平均机电耦合系数K2eff为2.39%，品质因数Q为224。利用亲和素—生物素特异性结合体系，链霉亲和素自组装于顶部金电极上作为敏感层，用于间接检测MUC1分...