Nanoscale research letters
2016
Zheng D, Guo P, Xiong J, Wang S
本文采用磁控溅射技术制备了基于氧化锌（ZnO）的薄膜体声波谐振器（FBAR），并将其作为生物传感器用于检测黏蛋白1（MUC1）。该FBAR的谐振频率位于约1503.3 MHz，平均机电耦合系数K2eff为2.39%，品质因数Q为224。利用亲和素—生物素特异性结合体系，链霉亲和素自组装于顶部金电极上作为敏感层，用于间接检测MUC1分...
Nanoscale research letters
2015
Chen YC, Shih WC, Chang WT, Yang CH 等 6 人
薄膜体声波谐振器（FBAR）因灵敏度高、体积小而被评估用于生物传感器。本研究制备了一种基于剪切模FBAR器件的新型人免疫球蛋白E（IgE）生物传感器，采用c轴23°倾斜氮化铝（AlN）薄膜作为压电层。通过非轴射频磁控溅射沉积AlN薄膜，工艺参数为工作气压5 mTorr、衬底温度300°C、溅射功率250 W、非轴与轴距离50 mm。...
Analytical biochemistry
2012
Chen D, Wang J, Xu Y, Zhang L
本文报道了一种基于薄膜体声波谐振器（TFBAR）的电声酶生物传感器，用于痕量有机磷农药检测。将乙酰胆碱酯酶（AChE）通过巯基十一烷酸（MUA）自组装和 EDC/NHS 化学固定在 TFBAR 测试通道底部的金（Au）表面。AChE 催化底物 3-吲哚乙酸酯水解，产物经互变异构和缩合生成不溶性靛蓝沉淀并沉积在 Au 表面，使谐振器质...