本文报道了一种新型柔性、生物相容的表面声波（SAW）微流控 pH 传感器。该器件以聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）为柔性基底，并在其上沉积氮化铝（AlN）作为压电材料。通过制作叉指换能器（IDT），可在活性区域激发中心频率约 500 MHz 的 Lamb 表面声波（L-SAW）。在两个 IDT 之间构建了采用氧化锌（ZnO）纳米颗粒功能...
过去数十年，生物传感器技术被广泛用于疾病诊断以及水和食品中污染物的检测。随着机器人、物联网和医疗传感技术的发展，迫切需要低成本、可重复使用或可回收的柔性传感器。表面声波（SAW）柔性生物传感器因高可重复性、可靠性和无线可控性而成为最有前景的技术之一。本文首次报道了一种基于氮化铝（AlN）薄膜、制备在可回收聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）...
薄膜体声波谐振器（FBAR）因灵敏度高、体积小而被评估用于生物传感器。本研究制备了一种基于剪切模FBAR器件的新型人免疫球蛋白E（IgE）生物传感器，采用c轴23°倾斜氮化铝（AlN）薄膜作为压电层。通过非轴射频磁控溅射沉积AlN薄膜，工艺参数为工作气压5 mTorr、衬底温度300°C、溅射功率250 W、非轴与轴距离50 mm。...