Wafer-scale high-resolution patterning of reduced graphene oxide films for detection of low concentration biomarkers in plasma.

鉴于还原氧化石墨烯（rGO）基生物传感器可在床旁实现一次性、可重复的生物标志物检测，本研究开发了一种晶圆级 rGO 高分辨率图案化方法。该方法基于传统微机电系统（MEMS）工艺，通过光刻胶牺牲层和氧气气氛反应离子刻蚀（RIE）干法刻蚀，将图案从光刻胶转移到 rGO 薄膜上，实现了从 5 μm 到数百微米尺度的多种 rGO 微图案。通...