Design and Optimization of AlGaN/GaN Graded Barrier MOS-HEMT Biosensor for Breast Cancer Biomolecule detection.

本文设计并模拟了一种用于乳腺癌生物分子检测的AlGaN/GaN渐变势垒金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管（MOS-HEMT）异质结生物传感器。渐变AlGaN势垒层用于增强极化诱导电荷，从而提高二维电子气（2DEG）密度并改善沟道载流子迁移率。器件采用具有不同功函数的三金属栅（M1、M2、M3）以调控沟道电场分布，增强静电控制。作者利...