Gold Nanohole Array with Sub-1 nm Roughness by Annealing for Sensitivity Enhancement of Extraordinary Optical Transmission Biosensor.

Nanoscale research letters 2015 Zhang J, Irannejad M, Yavuz M, Cui B

纳米制造技术对表面等离子体器件性能至关重要。本文针对异常光学传输（EOT）传感器，开发双剥离工艺，在二氧化硅基底上100 nm金膜中制备孔径150–235 nm、周期500 nm的纳米孔阵列。通过600 °C氩气气氛热退火，金膜均方根粗糙度由1.89 nm降至0.87 nm，实现亚1 nm表面粗糙度，同时孔径收缩约11%–13%。以...

表面等离子共振(SPR)生物传感器 异常光学传输纳米孔阵列表面等离子体激元热退火

Tuning of localized surface plasmon resonance of well-ordered Ag/Au bimetallic nanodot arrays by laser interference lithography and thermal annealing.

Applied optics 2011 Xu L, Tan LS, Hong MH

本文报道了一种利用激光干涉光刻（LIL）与热退火相结合的方法，制备大面积、有序 Ag/Au 双金属纳米点阵列，并研究其局域表面等离子共振（LSPR）特性及生物传感潜力。该方法在石英基底上先形成周期性纳米盘阵列，再通过热退火使 Ag/Au 薄膜 dewetting，在约 530 nm 周期内形成约 50 nm 的合金纳米点。消光谱表明...

表面等离子共振(SPR)生物传感器 局域表面等离子共振Ag/Au双金属纳米点激光干涉光刻热退火