Ellipsometric retrieval of the phenomenological parameters of a waveguide grating.

本文提出利用椭偏仪测量光栅耦合平板波导结构的反射系数，提取辐射系数、传播常数和耦合常数等现象学参数，从而在不预先知道光栅和波导几何尺寸的情况下进行功能建模。作者以单模光栅波导生物传感器芯片为对象，用聚焦离子束切取垂直于光栅线的超薄截面，通过扫描电镜获得几何参数，并基于已知折射率进行精确电磁建模。椭偏测量在固定波长下扫描入射角，利用非...