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Functionalization of a Fully Integrated Electrophotonic Silicon Circuit for Biotin Sensing.

Biosensors 2023 Pérez-Diaz O, Estrada-Wiese D, Aceves-Mijares M, González-Fernández AA

光电子(EPh)电路是能在同一集成电路中同时控制光子与电子的新型系统,可用于开发多种创新传感器。本文报道了一种 CMOS 兼容的 EPh 电路用于生物素传感,其中硅基光源被单片集成在同一芯片中。该器件由集成光源、波导和 p–n 光电二极管组成,全部在同一芯片上制备。作者研究了波导表面的功能化,以将 EPh 系统生物素化,用于潜在生物...

Fabrication of PMMA nanofluidic electrochemical chips with integrated microelectrodes.

Biosensors & bioelectronics 2015 Liu J, Wang L, Ouyang W, Wang W 等 11 人

本文提出一种基于等离子体刻蚀的方法,在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)板上单片集成平面纳通道与微电极,并通过与另一含微通道的 PMMA 板键合,构建完整的 PMMA 纳流控电化学芯片。作者优化了纳通道与微电极的制作顺序,研究了氧等离子体对 PMMA 纳通道的刻蚀速率,在最优条件下平均刻蚀速率为 15 nm/min。同时开发了一种紫外臭氧...