Fabrication of PMMA nanofluidic electrochemical chips with integrated microelectrodes.

本文提出一种基于等离子体刻蚀的方法，在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）板上单片集成平面纳通道与微电极，并通过与另一含微通道的 PMMA 板键合，构建完整的 PMMA 纳流控电化学芯片。作者优化了纳通道与微电极的制作顺序，研究了氧等离子体对 PMMA 纳通道的刻蚀速率，在最优条件下平均刻蚀速率为 15 nm/min。同时开发了一种紫外臭氧...