Top-Down Nanofabrication and Characterization of 20 nm Silicon Nanowires for Biosensing Applications.

PloS one 2016 M Nuzaihan MN, Hashim U, Md Arshad MK, Rahim Ruslinda A 等 7 人

本文采用自上而下纳米制造方法，从绝缘体上硅（SOI）晶圆制备硅纳米线，流程包括直写电子束光刻（EBL）、电感耦合等离子体反应离子刻蚀（ICP-RIE）和热氧化/缓冲氧化物刻蚀尺寸缩减。作者重点分析了 EBL 曝光剂量、光刻胶厚度及尺寸缩减工艺对纳米线形貌的关键影响。最终获得宽 20 nm、高 30 nm、呈三角形且长度约 400 μ...

场效应晶体管(FET)生物传感器 硅纳米线DNA检测电子束光刻微流控

Direct Write Protein Patterns for Multiplexed Cytokine Detection from Live Cells Using Electron Beam Lithography.

ACS nano 2016 Lau UY, Saxer SS, Lee J, Bat E 等 5 人

同时检测多种生物标志物（如细胞外信号分子）对疾病分型与诊断至关重要。在微纳尺度上精确固定抗体，有助于提升分子水平检测、生物传感器和诊断性能，也是实现并行、快速、低体积微型化器件的持续挑战。本文报道了一种基于电子束光刻（EBL）和多路细胞因子免疫分析方法，采用海藻糖糖聚合物（PolyProtek）作为抗蚀剂，在硅基底上直接书写抗体，实...

其他 电子束光刻抗体图案化海藻糖糖聚合物细胞因子检测