等离子体生物传感器是无标记、高灵敏研究分子吸附的有力工具。本文系统研究了由金属-介质立方体构成的严格规则纳米结构的光学性质，旨在有目的地调节其光学响应并提高生物传感性能。此外，测试了这些图案消除由溶液本体折射率变化引起的传感器虚假响应的潜力，使等离子体光谱位移仅由吸附分子引起。为此，采用电子束光刻在聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）上制备...
本综述文章从概念上研究了磁性纳米颗粒用于生物传感的要求，并将其与作者薄膜组合中的示例系统相关联。通过分析不同磁性相的固有磁性能，确定了可能对生物传感技术感兴趣的磁性颗粒尺寸范围。采用不同的电子束光刻策略，探索实现该尺寸范围内小磁性颗粒的可能途径。为此制备了三种从500 µm到50 nm的颗粒系统，目标分别是可调垂直磁化合成反铁磁、单...
本文采用自上而下纳米制造方法，从绝缘体上硅（SOI）晶圆制备硅纳米线，流程包括直写电子束光刻（EBL）、电感耦合等离子体反应离子刻蚀（ICP-RIE）和热氧化/缓冲氧化物刻蚀尺寸缩减。作者重点分析了 EBL 曝光剂量、光刻胶厚度及尺寸缩减工艺对纳米线形貌的关键影响。最终获得宽 20 nm、高 30 nm、呈三角形且长度约 400 μ...
同时检测多种生物标志物（如细胞外信号分子）对疾病分型与诊断至关重要。在微纳尺度上精确固定抗体，有助于提升分子水平检测、生物传感器和诊断性能，也是实现并行、快速、低体积微型化器件的持续挑战。本文报道了一种基于电子束光刻（EBL）和多路细胞因子免疫分析方法，采用海藻糖糖聚合物（PolyProtek）作为抗蚀剂，在硅基底上直接书写抗体，实...
本文报道一种基于局域表面等离子共振（LSPR）的无标记光学纳米生物传感器。传感器由电子束光刻（EBL）在蓝宝石基底上制备周期性银纳米盘阵列，并通过有限差分时间域（FDTD）模拟优化尺寸与周期。银纳米盘在金属-介质界面产生 LSPR，周围介质折射率变化引起共振波长移动。实验测得不同尺寸阵列的折射率灵敏度为 221–354 nm/RIU...
本文采用电子束光刻（EBL）直接在标准光纤尖端图案化周期性金纳米点阵列，并利用该阵列的局域表面等离子共振（LSPR）效应进行生化传感。基于光纤的LSPR传感器具有使用方便、结构紧凑、可在恶劣环境中工作的优点。作者演示了一种光纤尖端LSPR折射率传感器，其灵敏度为196 nm/RIU。以生物素/链霉亲和素作为受体/分析物模型，验证了该...
本文报道了基于电子束光刻（EBL）制备的金纳米柱阵列的表面增强拉曼散射（SERS）基底，用于牛血清白蛋白（BSA）和核糖核酸酶A（RNase-A）的精确光谱检测。金纳米柱直径为100–180 nm，柱间间距为200 nm。作者表明，通过优化光刻金纳米柱的尺寸和形状，可在较低浓度下获得蛋白质的SERS谱。该SERS研究使作者能够估计1...
本文提出一种简便且通用的碳纳米结构制造方法，利用电子束光刻和抗蚀剂热解制备碳纳米图案。采用负性电子束抗蚀剂SAL-601，在惰性气氛中热处理，获得碳纳米图案；通过湿法刻蚀下层牺牲氧化层，制备悬空碳纳米结构。作者制备了自由站立碳纳米结构，其中纳米桥宽130 nm、厚15 nm、长4 μm，并研究了电子束曝光剂量对抗蚀剂厚度和图案展宽的...