The fabrication of carbon nanostructures using electron beam resist pyrolysis and nanomachining processes for biosensing applications.

本文提出一种简便且通用的碳纳米结构制造方法，利用电子束光刻和抗蚀剂热解制备碳纳米图案。采用负性电子束抗蚀剂SAL-601，在惰性气氛中热处理，获得碳纳米图案；通过湿法刻蚀下层牺牲氧化层，制备悬空碳纳米结构。作者制备了自由站立碳纳米结构，其中纳米桥宽130 nm、厚15 nm、长4 μm，并研究了电子束曝光剂量对抗蚀剂厚度和图案展宽的...