Characterisation of capacitive field-effect sensors with a nanocrystalline-diamond film as transducer material for multi-parameter sensing.

本文报道了一种电容场效应EDIS（电解质-金刚石-绝缘体-半导体）多参数传感平台，采用氧终止纳米晶金刚石（O-terminated NCD）薄膜作为换能材料，用于检测pH和青霉素浓度，并对聚电解质等带电大分子的吸附与结合进行无标记电学监测。NCD薄膜通过微波等离子体增强化学气相沉积生长在p-Si-SiO2基底上，并在氧化性介质中处理...