2 条结果 关键词:硅氮化物波导 ×

Design of a novel hybrid multimode interferometer operating with both TE and TM polarizations for sensing applications.

Optical and quantum electronics 2023 Isayama YH, Hernández-Figueroa HE

本文提出并数值演示了一种可同时工作于TE和TM偏振的新型混合多模干涉仪(MMI)传感器件。模拟采用633 nm波长,面向未来生物传感器应用,也可扩展至其他波长与传感场景。通过设计低纵横比多模波导芯,TE基模与TM高阶模的场限制特性显著不同:TE00主要限制在Si3N4芯内,与包层相互作用弱;TM01大部分能量进入包层,对包层折射率变...

All-Silicon Photoelectric Biosensor on Chip Based on Silicon Nitride Waveguide with Low Loss.

Nanomaterials (Basel, Switzerland) 2023 Tang Y, Luo Q, Chen Y, Xu K

与广泛使用的化合物半导体光电传感器相比,全硅光电传感器因兼容互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺而具有易于量产的优势。本文提出一种工艺简单、集成化、微型化且低损耗的全硅光电生物传感器(ASPB)。该传感器基于单片集成技术,光源为PN结级联多晶硅纳米结构,检测器件采用简单的折射率传感方法。模拟结果表明,当待测材料折射率大于1.52时,...