Suspended honeycomb nanowire ISFETs for improved stiction-free performance.
本文报道了一种具有悬挂蜂窝纳米线（SHNW）结构的高性能离子敏感场效应晶体管（ISFET）。与悬挂直纳米线（SSNW）相比，SHNW 可提供更长且不易发生粘附的沟道，有利于实现全栅（gate-all-around, GAA）生物传感器。作者采用自上而下工艺制备了 SHNW、SSNW 和位于基底上的常规纳米线（CNW）ISFET，并比...
Performance enhancement of capacitive-coupling dual-gate ion-sensitive field-effect transistor in ultra-thin-body.
近年来，基于薄膜晶体管的双栅离子敏感场效应晶体管（ISFET）被提出，旨在利用多种有机或无机材料突破标准 ISFET 固有的能斯特响应限制。双栅结构引入的电容耦合效应，可将原本固定的能斯特响应显著扩展为超灵敏传感区间，从而提升器件对界面电位微小变化的响应能力。为进一步推进该平台，本文将超薄体（UTB）结构嵌入双栅 ISFET 中。厚...