Development of a mass-producible on-chip plasmonic nanohole array biosensor.

本文报道了一种可大规模生产的芯片式等离激元纳米孔阵列生物传感器。该器件以紫外固化聚氨酯丙烯酸酯（PUA）经纳米压印形成圆形纳米孔阵列，再在聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）薄膜上电子束沉积金薄膜，构成底部填充金纳米孔阵列。通过优化金膜厚度、孔深和孔周期，可获得最大反射光谱谷移，该谷移对应器件表面对折射率变化的灵敏度。作者利用三维时域有限...