Optofluidic Particle Manipulation Platform with Nanomembrane.
本文报道了一种在硅芯片上制备并利用光流控粒子操纵平台的方法。该平台在微流道中集成了一层300 nm厚的二氧化硅纳米膜。制备过程首先刻蚀硅微流道，并通过热氧化将硅侧壁转化为二氧化硅；随后利用毛细作用使牺牲性光聚合物SU-8 2000.5自发填充通道并形成弯月面，再以该聚合物为模板通过等离子体增强化学气相沉积生长二氧化硅膜，最后去除牺牲...
本文报道了一种在硅芯片上制备并利用光流控粒子操纵平台的方法。该平台在微流道中集成了一层300 nm厚的二氧化硅纳米膜。制备过程首先刻蚀硅微流道，并通过热氧化将硅侧壁转化为二氧化硅；随后利用毛细作用使牺牲性光聚合物SU-8 2000.5自发填充通道并形成弯月面，再以该聚合物为模板通过等离子体增强化学气相沉积生长二氧化硅膜，最后去除牺牲...