Surface engineering for enhancement of sensitivity in an underlap-FET biosensor by control of wettability.

本研究旨在通过简单改变钝化层的表面性质来提高电学生物传感器灵敏度。钝化层覆盖除传感位点外的背景区域，用于相邻互连线的电隔离。与亲水钝化层相比，疏水钝化层可显著提高传感器灵敏度。采用一种改进型金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）作为电学生物传感器，其在栅极与漏极之间设计有 underlap 区域。分别使用 CYTOP 薄膜和氮...