Multichannel boron doped nanocrystalline diamond ultramicroelectrode arrays: design, fabrication and characterization.

本文报道了一种8×8多通道硼掺杂纳米晶金刚石（BDD）超微电极阵列（UMEA）的设计、制备与电化学表征。该器件将微电极在质量传输方面的优势与BDD优异的本征电化学性能相结合，采用在预处理4英寸硅片上选择性生长金刚石的新工艺路线。阵列中金刚石电极直径约14 μm、电极间距100 μm，通过Ti/Pt金属走线独立互连，并以Si3N4钝化...