Aluminum plasmonic waveguides co-integrated with Si

将 CMOS 兼容等离子体学与低损耗光子学共集成，是兼顾等离子体强模式约束、电子-光子接口能力与光子低损耗传输、实现等离子体-光子集成电路批量制造的关键路径。等离子体波导可在暴露表面等离子极化激元（SPP）模式于水环境时用于高灵敏度生物传感，也可作为单模波导用于片上数据互连；与低损耗光子平台协同可容忍等离子体较高传播损耗，并提供无体...