4 条结果 关键词:CMOS工艺 ×

A multiband radio-frequency energy harvester for self-powered biosensor.

Heliyon 2023 Daoud M, Mnif H, Ghorbel M

本文提出一种用于自供电生物传感器能量控制单元的新型纳米结构射频(RF)至直流(DC)转换器。该电路基于三相供电的格雷茨桥(Graetz Bridge, DP3),可视为共阳极组与共阴极组的合理组合;在保持三相整流结构的同时,将二极管替换为六个二极管连接的 NMOS 晶体管,并在各级加入电容以实现电压提升,从而以较少级数获得较强的直流...

Fabrication of Silicon Nanowire Sensors for Highly Sensitive pH and DNA Hybridization Detection.

Nanomaterials (Basel, Switzerland) 2022 Abd Rahman SF, Yusof NA, Md Arshad MK, Hashim U 等 6 人

本研究采用电子束光刻(EBL)结合互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺,自上而下制备了高灵敏度硅纳米线(SiNW)传感器,实现器件微型化及几何与表面性质的均匀可控。通过设计不同宽度和数量的 SiNW,研究其对 pH 的响应。单根 60 nm 宽 SiNW 器件表现出理想 pH 响应 18.26×10^6 Ω/pH,并在 pH 4–1...

场效应晶体管(FET)生物传感器 硅纳米线场效应生物传感器DNA杂交pH传感

Aluminum plasmonic waveguides co-integrated with Si

Scientific reports 2018 Dabos G, Manolis A, Tsiokos D, Ketzaki D 等 14 人

将 CMOS 兼容等离子体学与低损耗光子学共集成,是兼顾等离子体强模式约束、电子-光子接口能力与光子低损耗传输、实现等离子体-光子集成电路批量制造的关键路径。等离子体波导可在暴露表面等离子极化激元(SPP)模式于水环境时用于高灵敏度生物传感,也可作为单模波导用于片上数据互连;与低损耗光子平台协同可容忍等离子体较高传播损耗,并提供无体...

Standard CMOS Fabrication of a Sensitive Fully Depleted Electrolyte-Insulator-Semiconductor Field Effect Transistor for Biosensor Applications.

Sensors (Basel, Switzerland) 2009 Shalev G, Cohen A, Doron A, Machauf A 等 8 人

微纳半导体器件在生物与化学组分检测中日益重要,活性生物材料与敏感换能器集成有望获得高灵敏、特异、可靠且可批量制造的生物传感器。本文报道了一种基于标准 CMOS 工艺制造的全耗尽(FD)电解质-绝缘体-半导体场效应晶体管(EISFET)。器件采用 SOI 晶圆,通过多次氧化/去氧化将活性 SOI 层减薄至 10–30 nm,使沟道在给...