Design, fabrication and characterization of a low-impedance 3D electrode array system for neuro-electrophysiology.

近年来，图案化微电极制造技术与微流控技术的进展推动了细胞和分子生物传感器应用的多样化发展。硅基技术因其成熟、稳定且易于获取，在该领域占据重要地位。本文报道了不同三维形状（金字塔形、锥形和高长径比）镀金微电极阵列（MEA）的微制备工艺与流程，并对各制备步骤中的物理特征进行了详细表征，以建立可靠的制备技术。此外，通过超声金线键合将硅基 ...