3 条结果 关键词:CMOS兼容 ×

Functionalization of a Fully Integrated Electrophotonic Silicon Circuit for Biotin Sensing.

Biosensors 2023 Pérez-Diaz O, Estrada-Wiese D, Aceves-Mijares M, González-Fernández AA

光电子(EPh)电路是能在同一集成电路中同时控制光子与电子的新型系统,可用于开发多种创新传感器。本文报道了一种 CMOS 兼容的 EPh 电路用于生物素传感,其中硅基光源被单片集成在同一芯片中。该器件由集成光源、波导和 p–n 光电二极管组成,全部在同一芯片上制备。作者研究了波导表面的功能化,以将 EPh 系统生物素化,用于潜在生物...

An Analysis of a Compact Label-Free Guiding-Wave Biosensor Based on a Semiconductor-Clad Dielectric Strip Waveguide.

Sensors (Basel, Switzerland) 2020 Angulo Barrios C

本文提出并分析了一种紧凑、集成、无标记的半导体包覆介质条波导生物传感器。该器件采用与CMOS工艺兼容的材料,包括非晶硅(a-Si)包覆层和氮氧化硅(SiON)介质波导,基底为二氧化硅(SiO2)。作者采用三维光束传播法(BPM)对器件光学性能进行建模,研究其对体折射率变化和表面生物膜厚度变化的响应,并考察尺寸与材料参数偏差对性能的影...

All-nanophotonic NEMS biosensor on a chip.

Scientific reports 2015 Fedyanin DY, Stebunov YV

集成化化学与生物传感器在降低成本、减小体积和重量方面具有优势,并为并行监测与分析提供新途径。基于纳米机电系统(NEMS)的生物传感器因紧凑、高灵敏和可单分子检测而成为集成平台的重要候选,但静电、磁动、热或压电等驱动与换能方式通常限制其只能在实验室条件使用。全光学方案可克服上述问题,但现有结构往往宏观或过于复杂昂贵。本文提出一种极紧凑...