Fabrication of Silicon Nanowire Sensors for Highly Sensitive pH and DNA Hybridization Detection.

Nanomaterials (Basel, Switzerland) 2022 Abd Rahman SF, Yusof NA, Md Arshad MK, Hashim U 等 6 人

本研究采用电子束光刻（EBL）结合互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺，自上而下制备了高灵敏度硅纳米线（SiNW）传感器，实现器件微型化及几何与表面性质的均匀可控。通过设计不同宽度和数量的 SiNW，研究其对 pH 的响应。单根 60 nm 宽 SiNW 器件表现出理想 pH 响应 18.26×10^6 Ω/pH，并在 pH 4–1...

场效应晶体管(FET)生物传感器 硅纳米线场效应生物传感器DNA杂交pH传感

Standard CMOS Fabrication of a Sensitive Fully Depleted Electrolyte-Insulator-Semiconductor Field Effect Transistor for Biosensor Applications.

Sensors (Basel, Switzerland) 2009 Shalev G, Cohen A, Doron A, Machauf A 等 8 人

微纳半导体器件在生物与化学组分检测中日益重要，活性生物材料与敏感换能器集成有望获得高灵敏、特异、可靠且可批量制造的生物传感器。本文报道了一种基于标准 CMOS 工艺制造的全耗尽（FD）电解质-绝缘体-半导体场效应晶体管（EISFET）。器件采用 SOI 晶圆，通过多次氧化/去氧化将活性 SOI 层减薄至 10–30 nm，使沟道在给...

场效应晶体管(FET)生物传感器 场效应晶体管生物传感器全耗尽SOICMOS工艺pH传感