A Silicon Nanowire Array Biosensor Fabricated by Complementary Metal Oxide Semiconductor Technique for Highly Sensitive and Selective Detection of Serum Carcinoembryonic Antigen.

本文报道了一种基于硅纳米线（SiNW）阵列器件的高灵敏、高选择性血清癌胚抗原（CEA）检测方法。利用传统微纳加工技术，作者以与互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺兼容的方式，低成本、高可控地制备了 SiNW 阵列器件。经氧等离子体活化、3-氨基丙基三乙氧基硅烷（APTES）硅烷化、戊二醛交联及抗 CEA 抗体固定等表面修饰后，器件表...