Advances in complementary-metal-oxide-semiconductor-based integrated biosensor arrays.

本文综述了互补金属氧化物半导体（CMOS）技术在集成生物传感器阵列中的进展。作者首先介绍 CMOS 工艺、后处理与封装方法，说明如何将晶圆级读出电路与生物识别界面结合，形成可用于液体环境的微型传感系统。随后系统总结 CMOS 作为换能器及信号处理电路在电化学、场效应、阻抗、电容、光学、磁性和压电等生物传感器中的应用，涵盖恒电位仪、放...