集成硅电子-光子平台中的多路传感需要在毫米级芯片上同时实现光学、电学与微流控耦合，因此要求微流控器件兼具高密度微米级通道和中尺度特征。本文提出采用三维打印转移模塑快速制备复杂多层微流控结构，并将其与单片电子-光子系统级芯片集成。该平台包含半径5 µm的微环谐振器（MRR）阵列，可实现芯片上同时光学、电学和微流控耦合。作者利用投影微立...
本文综述了互补金属氧化物半导体（CMOS）技术在集成生物传感器阵列中的进展。作者首先介绍 CMOS 工艺、后处理与封装方法，说明如何将晶圆级读出电路与生物识别界面结合，形成可用于液体环境的微型传感系统。随后系统总结 CMOS 作为换能器及信号处理电路在电化学、场效应、阻抗、电容、光学、磁性和压电等生物传感器中的应用，涵盖恒电位仪、放...
本文设计了一种尺寸为1.5 mm×3 mm的CMOS芯片，用于监测芯片上细胞培养。芯片采用0.5 µm CMOS工艺制造，具有3层金属、2层多晶硅，为5 V工艺。芯片集成了离子敏感场效应晶体管（ISFET）以及带读出电路的ISFET，用于监测置于芯片上方溶液的pH。利用工艺顶层金属制作叉指电极结构（IDES），通过阻抗/电容变化检测...
磁阻生物传感器（包括 GMR、TMR、AMR）若要进入临床和消费级应用，必须解决生物材料耐受温度、裸芯片表面暴露、微流控封装生物相容性、绝缘与非磁性、低成本可制造等约束。本文针对标准半导体封装与生物传感器制造不兼容问题，提出一种面向磁阻生物传感器的微流控封装与宏微互连架构。该架构将硅基磁阻传感器芯片通过引线键合安装到印刷电路板上，再...