Fabrication and Characterization of a Surface-Acoustic-Wave Biosensor in CMOS Technology for Cancer Biomarker Detection.

本文报道了一种在互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺中设计、制备和表征的新型声表面波（SAW）生物传感器。该传感器采用链霉亲和素/生物素五层免疫检测体系，用于检测乳腺癌重要血清生物标志物人乳腺球蛋白（mammoglobin，hMAM）。由于乳腺癌早期筛查、预后判断和治疗监测需要高灵敏度且特异的血清标志物检测方法，CMOS-SAW器件...