Structural properties and sensing performance of high-k Nd2TiO5 thin layer-based electrolyte-insulator-semiconductor for pH detection and urea biosensing.

为提高pH检测灵敏度，本文提出在硅基底上通过反应溅射和沉积后退火制备Nd2TiO5薄膜的电解质–绝缘体–半导体（EIS）器件。采用X射线衍射、X射线光电子能谱和原子力显微镜研究600、700、800和900°C退火对Nd2TiO5薄膜结构特性的影响，并将结构性质与pH传感性能关联。在酶场效应晶体管尿素生物传感中，将固定脲酶的藻酸盐薄...