High dielectric constant PrY(x)O(y) sensing films electrolyte-insulator-semiconductor pH-sensor for the detection of urea.

本文报道了通过反应共溅射在硅基底上制备高介电常数 PrYxOy 传感膜，并用于电解质-绝缘体-半导体（EIS）pH 传感器和尿素生物传感器。采用二次离子质谱（SIMS）和原子力显微镜（AFM）分析不同退火温度下薄膜的成分与表面形貌。800 °C 退火的 PrYxOy 膜 EIS 器件在 pH 2–12 范围内表现出 59.07 mV...