A Symmetric U-Shaped Gate Tunnel FET-ISFET Hybrid Label-Free Biosensor for Highly Sensitive DNA Detection.
离子敏感场效应晶体管(ISFET)因生物分子固有电荷可改变晶体管电流或阈值电压而被广泛用于生物分子检测。为进一步提升ISFET生物传感器性能,本文提出一种利用隧穿场效应晶体管(TFET)优势的对称U形栅TFET-ISFET混合无标记生物传感器(SU-ISFET)。该器件采用高k HfO2 U形栅介质、Al2O3顶层传感氧化物、p+ ...