Biosensor for human IgE detection using shear-mode FBAR devices.
薄膜体声波谐振器（FBAR）因灵敏度高、体积小而被评估用于生物传感器。本研究制备了一种基于剪切模FBAR器件的新型人免疫球蛋白E（IgE）生物传感器，采用c轴23°倾斜氮化铝（AlN）薄膜作为压电层。通过非轴射频磁控溅射沉积AlN薄膜，工艺参数为工作气压5 mTorr、衬底温度300°C、溅射功率250 W、非轴与轴距离50 mm。...
薄膜体声波谐振器（FBAR）因灵敏度高、体积小而被评估用于生物传感器。本研究制备了一种基于剪切模FBAR器件的新型人免疫球蛋白E（IgE）生物传感器，采用c轴23°倾斜氮化铝（AlN）薄膜作为压电层。通过非轴射频磁控溅射沉积AlN薄膜，工艺参数为工作气压5 mTorr、衬底温度300°C、溅射功率250 W、非轴与轴距离50 mm。...