Optofluidic Particle Manipulation Platform with Nanomembrane.
本文报道了一种在硅芯片上制备并利用光流控粒子操纵平台的方法。该平台在微流道中集成了一层300 nm厚的二氧化硅纳米膜。制备过程首先刻蚀硅微流道，并通过热氧化将硅侧壁转化为二氧化硅；随后利用毛细作用使牺牲性光聚合物SU-8 2000.5自发填充通道并形成弯月面，再以该聚合物为模板通过等离子体增强化学气相沉积生长二氧化硅膜，最后去除牺牲...
Applying the miniaturization technologies for biosensor design.
微工程与微纳制造技术为开发低样本量、集成化、自动化且成本较低的生物传感系统提供了重要途径。除电子束光刻、模板光刻、纳米压印光刻和蘸笔光刻外，基础光刻因制造简便、设备要求低且可制作亚微米级图案，被广泛用于微工程传感系统设计。本文综述了三类微工程生物传感器：基于微/纳图案化、微流控和微机电系统（MEMS）的传感器件。微/纳图案化技术可制...