The Microscopic Origin of Residual Stress for Flat Self-Actuating Piezoelectric Cantilevers.

Nanoscale research letters 2011 Lee JH, Hwang KS, Kim TS

本研究在低应力 Pb(Zr0.52Ti0.48)O3（PZT）薄膜条件下制备了平面压电微悬臂梁，并采用拉曼光谱与晶圆曲率法对其残余应力进行分析。结果表明，1 μm 是 PZT 薄膜厚度的关键阈值：当厚度超过 1 μm 时，表面粗糙化引发应力松弛，(111) 择优取向开始下降，而压电系数 d33 的变化与择优取向改变所伴随的应力松弛密...

其他 压电微悬臂梁PZT薄膜残余应力拉曼光谱

Detection of Hepatitis B Virus (HBV) DNA at femtomolar concentrations using a silica nanoparticle-enhanced microcantilever sensor.

Biosensors & bioelectronics 2009 Cha BH, Lee SM, Park JC, Hwang KS 等 8 人

本文报道了一种二氧化硅纳米粒子增强的动态微悬臂梁生物传感器，用于检测乙型肝炎病毒（HBV）DNA。以 HBV DNA precore/core 区的 243 核苷酸片段为靶标，设计了固定于微悬臂梁表面的捕获探针和偶联二氧化硅纳米粒子的检测探针。通过 DNA 杂交直接结合纳米粒子，优化了二氧化硅纳米粒子尺寸与微悬臂梁尺寸，并讨论了纳米...

其他 微悬臂梁生物传感器乙型肝炎病毒DNA二氧化硅纳米粒子共振频率偏移