A dielectric-modulated field-effect transistor for biosensing.
本文报道一种基于场效应晶体管（FET）的介电调制生物传感器（DMFET），用于无标记检测生物分子特异性结合。器件采用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容工艺，在p型绝缘体上硅（SOI）晶圆上构建硅沟道、磷掺杂源漏电极、10 nm二氧化硅栅氧化层以及铬/金栅电极，并通过湿法刻蚀铬层形成15 nm垂直纳米间隙。纳米间隙内壁经11-氨基-...
本文报道一种基于场效应晶体管（FET）的介电调制生物传感器（DMFET），用于无标记检测生物分子特异性结合。器件采用互补金属氧化物半导体（CMOS）兼容工艺，在p型绝缘体上硅（SOI）晶圆上构建硅沟道、磷掺杂源漏电极、10 nm二氧化硅栅氧化层以及铬/金栅电极，并通过湿法刻蚀铬层形成15 nm垂直纳米间隙。纳米间隙内壁经11-氨基-...