Resonance acoustic microbalance with naked-embedded quartz (RAMNE-Q) biosensor fabricated by microelectromechanical-system process.

通过微加工方法实现了裸嵌石英谐振声学微天平（RAMNE-Q），旨在拓展石英晶体微天平（QCM）生物传感器的应用。RAMNE-Q 生物传感器由三层构成：刻蚀有微通道的硅层及上下夹持的玻璃层。厚度为 9.3 或 28.5 μm 的裸 AT 切石英谐振器置于微通道中，由硅微柱和半圆形壁支撑而不固定，并被刚性封装体包覆。铜天线用于产生和接收...