本文提出一种基于可调微机电系统（MEMS）超材料结构的无标记生物传感器。该结构由一维超材料光栅组成，包含可动与固定纳米指；光学检测中的可动单元是MEMS结构的一部分，由表面应力效应驱动。当修饰悬臂梁表面发生生物结合时，悬空光学纳米带发生位移并改变光栅图案，使斜入射光下超材料的光学响应显著变化，共振波长谱发生偏移。模拟结果显示，该传感...
所有药物、疫苗、化妆品及许多医学突破在进入标准临床或市场前，都必须通过临床研究或临床试验批准。临床试验是用于评估药物、化合物和治疗方案安全性与有效性的系列测试，通常包括一个临床前阶段和四个主要临床阶段。分析技术在临床试验中发挥关键作用，用于测定生物基质中药物浓度并监测患者或志愿者状态。本综述聚焦于近期用于测定全血、血浆、尿液和母乳等...
连续葡萄糖监测（CGM）有望显著改善糖尿病管理。本文报道一种概念验证型微创CGM设备，可在真皮组织间液（ISF）中原位、低延迟地检测葡萄糖，兼具微针系统与商用CGM的优点。该设备将超微型三电极电化学酶探针集成于单根空心硅微针腔内，两部分分别采用标准硅微加工制备。传感电极位于腔内并朝向真皮侧开口，使葡萄糖仅通过短距离分子扩散即可被实时...
本研究将一枚微电子生物传感器植入牛背阔肌附近，用于评估其在体内暴露下的生物稳定性。该植入式传感器旨在连续监测葡萄糖水平，芯片采用0.25 µm CMOS/BiCMOS工艺制备的微机电系统（MEMS）。传感基于亲和粘度法：葡萄糖通过半透膜进入由葡聚糖（dextran）和刀豆蛋白A（ConA）组成的亲和试剂，引起大分子网络粘度变化，再由...
本文报道一种基于MEMS工艺制备的植入式多电极阵列(MEA)葡萄糖生物传感器，用于实时监测大鼠脑细胞外液葡萄糖通量。探针在SOI晶圆上制造，含4根可穿透脑组织的微杆和16个直径15 μm的铂记录位点；葡萄糖氧化酶(GOx)通过戊二醛交联固定于Pt表面，葡萄糖氧化产生H2O2，在+700 mV下被Pt电极安培检测。为降低脑内电活性干扰...
近年来，图案化微电极制造技术与微流控技术的进展推动了细胞和分子生物传感器应用的多样化发展。硅基技术因其成熟、稳定且易于获取，在该领域占据重要地位。本文报道了不同三维形状（金字塔形、锥形和高长径比）镀金微电极阵列（MEA）的微制备工艺与流程，并对各制备步骤中的物理特征进行了详细表征，以建立可靠的制备技术。此外，通过超声金线键合将硅基 ...
通过微加工方法实现了裸嵌石英谐振声学微天平（RAMNE-Q），旨在拓展石英晶体微天平（QCM）生物传感器的应用。RAMNE-Q 生物传感器由三层构成：刻蚀有微通道的硅层及上下夹持的玻璃层。厚度为 9.3 或 28.5 μm 的裸 AT 切石英谐振器置于微通道中，由硅微柱和半圆形壁支撑而不固定，并被刚性封装体包覆。铜天线用于产生和接收...
本文提出一种基于共振扭转桨的微加工生物传感器，采用电磁激励与检测，可直接在液体中工作。该传感器由两个具有扭转共振模式的桨组成，振动过程中能量损耗较低，因而适合液体环境检测。作者通过有限元方法分析并优化结构参数，以保证传感器灵敏度；采用MEMS体硅工艺完成制备。针对液体中强阻尼导致性能下降的问题，设计了带能量补偿的正反馈电路，以改善传...
传感器在医疗等多个领域日益重要。开发低成本、微型化、高选择性和高灵敏度，并且控制与分析均可集成于同一芯片的传感器十分必要。此类传感器可采用微机电系统（MEMS）实现；由于其在半导体基底上制造，可方便地集成额外信号处理电路，从而提供多路复用和模数转换等功能。本文提出一种多传感器片上系统（SoC）设计的通用框架，包括智能信号处理、内置自...