Design of a novel high-sensitive SOI-Junctionless BioFET overcoming sensitivity degradation problems.
本文首次提出一种无标记无结半导体器件新构型,用于提高生物分子识别灵敏度。与传统在栅氧化层中制作纳米空腔不同,该设计将纳米空腔置于沟道区,适用于具有高工作电流的SOI无结生物器件。为更好调控导电机制,在埋氧层内沟道下方制作孔沟槽,通过调制能带提升传感性能。与需要较厚栅氧化层以捕获生物分子的传统生物传感器相比,该器件可在极薄栅氧化层下工...