为利用超低功耗逻辑与架构设计技术实现植入式生物传感器，无线超声技术因介质衰减较低且允许的安全强度较高，成为体内能量传输的有力候选。当生物传感器尺寸小于100 µm时，多数器件难以满足数字电子所需的电压和功率。本研究对文献中三种基于钪掺杂氮化铝（ScAlN）的压电微机械超声换能器（pMUT）进行数值比较，工作频率为1–10 MHz，分...
本研究采用基于连续介质建模的有限元仿真方法，评估单壁氮化硼纳米管（SWBNNT）作为生物传感器用于多种细菌和病毒质量检测的可行性。研究将不同种类的细菌或病毒置于悬臂梁构型SWBNNT的自由端，将其视为附加质量，分析吸附后系统共振频率的变化。作者基于Euler-Bernoulli梁理论建立解析模型，并考虑有效壁厚，对SWBNNT进行连...
本文针对单壁碳纳米管（SWCNT）悬臂生物传感器开展三维有限元建模与仿真，研究生物颗粒检测过程中目标分子结合引起梁端质量附着和纳米颗粒添加所导致的弯曲变形。该传感器以硅衬底为接地电极，氮化硅层作为介质隔离，SWCNT作为高长径比悬臂梁，其表面可修饰金纳米颗粒并固定特异性抗体，同时用分子层抑制非特异性吸附。论文建立了静电-机械耦合分析...
本文研究矩形、三角形和阶梯轮廓微悬臂梁在表面应力下的挠度、共振频率和应力特性，为微悬臂梁生物传感器选择更优传感元件。微悬臂梁生物传感器通过功能化表面结合目标分子产生表面应力，并转换为可测挠度；整体灵敏度取决于设计灵敏度（挠度）和测量灵敏度（共振频率）。作者用ANSYS Multiphysics有限元建立三维模型，对六种设计进行静力与...