Microfluidic package design for magnetoresistive biosensors.
磁阻生物传感器(包括 GMR、TMR、AMR)若要进入临床和消费级应用,必须解决生物材料耐受温度、裸芯片表面暴露、微流控封装生物相容性、绝缘与非磁性、低成本可制造等约束。本文针对标准半导体封装与生物传感器制造不兼容问题,提出一种面向磁阻生物传感器的微流控封装与宏微互连架构。该架构将硅基磁阻传感器芯片通过引线键合安装到印刷电路板上,再...
磁阻生物传感器(包括 GMR、TMR、AMR)若要进入临床和消费级应用,必须解决生物材料耐受温度、裸芯片表面暴露、微流控封装生物相容性、绝缘与非磁性、低成本可制造等约束。本文针对标准半导体封装与生物传感器制造不兼容问题,提出一种面向磁阻生物传感器的微流控封装与宏微互连架构。该架构将硅基磁阻传感器芯片通过引线键合安装到印刷电路板上,再...