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Multichannel boron doped nanocrystalline diamond ultramicroelectrode arrays: design, fabrication and characterization.

Sensors (Basel, Switzerland) 2012 Kiran R, Rousseau L, Lissorgues G, Scorsone E 等 9 人

本文报道了一种8×8多通道硼掺杂纳米晶金刚石(BDD)超微电极阵列(UMEA)的设计、制备与电化学表征。该器件将微电极在质量传输方面的优势与BDD优异的本征电化学性能相结合,采用在预处理4英寸硅片上选择性生长金刚石的新工艺路线。阵列中金刚石电极直径约14 μm、电极间距100 μm,通过Ti/Pt金属走线独立互连,并以Si3N4钝化...

Vertically aligned nanowires from boron-doped diamond.

Nano letters 2008 Yang N, Uetsuka H, Osawa E, Nebel CE

本文报道了利用纳米金刚石颗粒作为硬掩模,通过反应离子刻蚀在金属型硼掺杂单晶化学气相沉积金刚石表面制备垂直排列金刚石纳米线的方法。作者采用原子力显微镜、扫描隧道显微镜和电化学技术表征纳米线的表面形貌、界面电子性质及电化学功能化行为。结果表明,刻蚀10 s可获得线状结构,长度约3–10 nm,相邻纳米线间距典型值约11 nm;与平滑金刚...